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晶圓級芯片分選編帶機 Die sorter

我司自主研發(fā)、制造的高性能、高穩(wěn)定性、高產出的系統(tǒng)級轉塔式晶圓芯片分選編帶機。人工將裝有晶圓的wafer?cassette放置到機臺的上料區(qū)(Elevator),機臺會自動地完成晶圓的上料,完成晶圓藍膜的擴膜。通過小轉塔(flipper)將芯片吸取并與大轉塔上的吸嘴完成對接,隨后進行各個工位的檢測,將檢測合格的芯片放入編帶機構進行收料。

設備優(yōu)勢

  • 01

    適用于8”和12”晶圓
  • 02

    自動完成晶圓藍膜張緊
  • 03

    高性能視覺定位系統(tǒng)
  • 04

    高性能視覺檢測系統(tǒng)
  • 05

    滿足多樣的晶圓測試需求
  • 06

    高精度的高速生產模式
  • 07

    定位精度±20μm
  • 08

    晶粒尺寸 0.2*0.4-7*7mm

基本信息

    設備尺寸:1700x1630x2000mm設備重量:2500KG
    主轉塔工位數(shù)量:24 小轉塔工位數(shù)量:8
    支持芯片尺寸:0.2x0.4 ~ 7x7 適用晶圓尺寸:8” & 12”
    收料方式:編帶產能: 400000 PCS
    故障率:<1/3000


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